一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821138802.9
IPC分类号：B01D47/06;B01D53/18
申请日期：
2018-07-18
申请人：
安徽京仪自动化装备技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置
申请号	CN201821138802.9	申请日期	2018-07-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D47/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D47/00 用液体作为分离剂从气体、空气或蒸气中分离弥散的粒子（B01D 45/10优先；分馏塔或其部件入B01D 3/16） B01D47/06 喷洗	IPC分类号	B;0;1;D;4;7;/;0;6;;;B;0;1;D;5;3;/;1;8查看分类表>
申请人	安徽京仪自动化装备技术有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽京仪自动化装备技术有限公司	当前权利人	安徽京仪自动化装备技术有限公司
发明人	杨春水;司马超;张坤;曹小康;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩
代理机构	芜湖思诚知识产权代理有限公司	代理人	郑直

摘要

本实用新型公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的前端水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括水洗腔体、进气口法兰、出气口法兰和出水口法兰，进气口法兰和出气口法兰竖直焊接在水洗腔体的顶部左侧和右侧，出水口法兰竖直焊接在水洗腔体的底部，水洗腔体的下方设有废水箱，废水箱的顶部设有进水口法兰，出水口法兰通过连接管和废水箱的进水口法兰连接，水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷水口法兰一和喷水口法兰二，水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷水口法兰三，喷水口法兰内设有喷头。废气中含有的粉尘经过前端水洗喷淋装置后，粉尘与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供