一种高精度高可靠钛钨金电极芯片及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201610772319.5
IPC分类号：H01C7/04;H01C17/28
申请日期：
2016-08-30
申请人：
广东爱晟电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种高精度高可靠钛钨金电极芯片及其制备方法
申请号	CN201610772319.5	申请日期	2016-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-04	公开/公告号	CN106298120A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01C7/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01C 电阻器 H01C7/00 用一层或多层薄膜或涂敷膜构成的不可调电阻器；由含或不包含绝缘材料的粉末导电材料或粉末半导体材料构成的不可调电阻器（由疏松的粉末材料或颗粒材料组成的入H01C 8/00；有电位跃变势垒或表面势垒的电阻器，如场效应电阻器入H01L 29/00；对电磁辐射或微粒子辐射敏感的半导体器件，如光敏电阻器入H01L 31/00；磁场控制电阻器入H01L 43/08体负阻效应器件入H01L 47/00）〔2〕 H01C7/04 具有负温度系数的	IPC分类号	H;0;1;C;7;/;0;4;;;H;0;1;C;1;7;/;2;8查看分类表>
申请人	广东爱晟电子科技有限公司	申请人地址	广东省珠海市唐家湾镇金鼎科技创新海岸创新一路8号1号厂房第二层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	珠海爱晟医疗科技有限公司	当前权利人	珠海爱晟医疗科技有限公司
发明人	柏小海;段兆祥;杨俊;唐黎民
代理机构	广州骏思知识产权代理有限公司	代理人	吴静芝

摘要

本发明公开了一种高精度高可靠钛钨金电极芯片及其制备方法，所述高精度高可靠钛钨金电极芯片，包括热敏基片、钛钨合金层、金电极；所述钛钨合金层、金电极均从内至外依次层叠的设置于热敏基片的两表面上。所述钛钨合金层的厚度为0.05‑0.1μm。所述金电极的厚度为1‑2μm。相对于现有技术，本发明的高精度高可靠钛钨金电极芯片的热时间常数具有明显的减少，具有高可靠、高精度，良好的耐热循环能力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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