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压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980053400.X
  • IPC分类号:H01L41/09;G03F7/20
  • 申请日期:
    2019-07-15
  • 申请人:
    ASML荷兰有限公司
著录项信息
专利名称压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备
申请号CN201980053400.X申请日期2019-07-15
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-03-26公开/公告号CN112567541A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L41/09IPC分类号H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人ASML荷兰有限公司申请人地址
荷兰维德霍温 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASML荷兰有限公司当前权利人ASML荷兰有限公司
发明人B·简森;H·巴特勒;A·P·戴克舒恩
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人王益
摘要
所披露的压电致动器(40)包括第一对电极(410)、第二对电极(420)、以及具有第一表面(44)和第二表面(46)的压电材料(42)。所述第一表面沿第一方向(x)和第二方向(y)布置。所述第一对电极包括被布置在所述第一表面上的第一电极和被布置在所述第二表面上的第二电极。所述第二对电极被布置在另一表面(430,432)上以剪切所述压电材料。所述第一对电极被布置用以沿垂直于第一方向和第二方向的第三方向(z)伸长所述压电材料。所述第一电极被分成至少两个部分(410a,410b)并且被布置用以绕所述第一方向将所述第一表面和所述第二表面相对于彼此旋转。

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