晶圆校准相机及具有其的探针台

发明专利有效专利

申请号：
CN202110793195.X
IPC分类号：H04N5/225;G01R31/28
申请日期：
2021-07-14
申请人：
杭州长川科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	晶圆校准相机及具有其的探针台
申请号	CN202110793195.X	申请日期	2021-07-14
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-08-17	公开/公告号	CN113271405A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04N5/225 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04N 图像通信，如电视 H04N5/00 电视系统的零部件（扫描部件或其与供电电压产生的组合入H04N 3/00）〔4，2011.01〕 H04N5/222 电视演播室线路；电视演播室装置；电视演播室设备〔4〕 H04N5/225 电视摄像机〔4〕	IPC分类号	H;0;4;N;5;/;2;2;5;;;G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人	杭州长川科技股份有限公司	申请人地址	浙江省杭州市滨江区聚才路410号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州长川科技股份有限公司	当前权利人	杭州长川科技股份有限公司
发明人	赵轶;宋金梁;姚建强;郭剑飞;舒贻胜;陈夏薇;黄长兴;杜振东
代理机构	杭州华进联浙知识产权代理有限公司	代理人	陈霄容

摘要

本发明涉及晶圆测试技术领域，特别是涉及一种晶圆校准相机及具有其的探针台。该晶圆校准相机包括壳体、透镜组件、光源扩散组件以及光源组件；壳体内具有容置槽，壳体上开设有与容置槽连通的透光孔，透镜组件、光源扩散组件及光源组件分别安装于容置槽内，且透镜组件及光源扩散组件设于光源组件的光路上；当光源组件开启时，光源组件发出的光束能够经透镜组件及光源扩散组件传输并从透光孔射出至晶圆，以获取晶圆的图像信息。本发明的优点在于：结构简单、成本低、费时短、精度高、效率高且能够满足晶圆大规模测试要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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