激光离子源

发明专利有效专利

申请号：
CN201310063330.0
IPC分类号：H01J27/24;H01J27/02
申请日期：
2013-02-28
申请人：
株式会社东芝

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	激光离子源
申请号	CN201310063330.0	申请日期	2013-02-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-11	公开/公告号	CN103295861A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J27/24 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J27/00 离子束管（H01J 25/00，H01J 33/00，H01J 37/00优先；粒子加速器入H05H） H01J27/02 离子源；离子枪〔3〕 H01J27/24 用光电离的，如用激光束的〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;2;7;/;2;4;;;H;0;1;J;2;7;/;0;2查看分类表>
申请人	株式会社东芝	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社东芝	当前权利人	株式会社东芝
发明人	角谷晶子;林和夫;长内昭宏;佐藤洁和;吉行健;来栖努
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	陈萍

摘要

本发明提供能不破坏真空条件地进行靶的补给的激光离子源。离子生成真空容器（110）被真空排气，被输送并配置通过激光的照射发生离子的靶（112）。阀（130）设置在离子生成真空容器（110）的侧面，在向离子生成真空容器110内输送靶（112）时打开，在输送时以外关闭。靶补给容器（120）通过阀（130）安装于离子生成真空容器（110），将靶（112）能移动地保持，能与离子生成真空容器（110）独立地真空排气。保持在靶补给容器（120）内的靶（112），在关闭了阀（130）的状态下将靶补给容器内真空排气之后，在打开了阀（130）的状态下被输送到离子生成真空容器（110）内。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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