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带反射镜的无像元远红外上转换成像装置制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710041124.4
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2007-05-24
  • 申请人:
    上海交通大学
著录项信息
专利名称带反射镜的无像元远红外上转换成像装置制造方法
申请号CN200710041124.4申请日期2007-05-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-11-28公开/公告号CN101079455
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人上海交通大学申请人地址
上海市闵行区东川路800号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海交通大学当前权利人上海交通大学
发明人沈文忠;武乐可;郝惠莲
代理机构上海交达专利事务所代理人王锡麟;王桂忠
摘要
一种带反射镜的无像元远红外上转换成像装置制造方法。步骤如下:(1)确定探测器类型为砷化镓同质结远红外探测器,发光二极管的顶部和底部DBR反射镜为砷化镓层和铝镓砷层的周期性结构;(2)利用电磁波矢量分解的方法并考虑驻波效应优化了顶部和底部DBR反射镜的参数以及发光二极管的参数;(3)用分子束外延装置先生长出砷化镓同质结远红外探测器,在此基础上依次生长:顶部DBR反射镜、砷化镓和铝镓砷发光二极管、以及底部DBR反射镜,就得到了带反射镜的无像元远红外上转换成像装置。本发明提高了远红外上转换成像的效率,为成熟半导体远红外成像的普遍应用奠定了基础。

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