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放射线检测面板的制造装置及放射线检测面板的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280045409.4
  • IPC分类号:G21K4/00;G01T1/20
  • 申请日期:
    2012-12-06
  • 申请人:
    株式会社东芝;东芝电子管器件株式会社
著录项信息
专利名称放射线检测面板的制造装置及放射线检测面板的制造方法
申请号CN201280045409.4申请日期2012-12-06
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-05-21公开/公告号CN103814412A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G21K4/00IPC分类号G;2;1;K;4;/;0;0;;;G;0;1;T;1;/;2;0查看分类表>
申请人株式会社东芝;东芝电子管器件株式会社申请人地址
日本栃木县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能电子管器件株式会社当前权利人佳能电子管器件株式会社
发明人千代间仁;吉田笃也;松山涉;山本丰雄;会田博之;榛叶勇一
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人张鑫
摘要
本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源,使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射,使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上,形成荧光体膜。

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