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检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310347390.5
IPC分类号：G01N21/88;H05K13/08
申请日期：
2013-08-09
申请人：
索尼公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法
申请号	CN201310347390.5	申请日期	2013-08-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-19	公开/公告号	CN103592308A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;H;0;5;K;1;3;/;0;8查看分类表>
申请人	索尼公司	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重机自动化系统有限公司	当前权利人	重机自动化系统有限公司
发明人	井户胜也;千贺大辅
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	余刚;吴孟秋

摘要

提供可以高精度地检测附着在检查对象物的检查面上的异物的检查装置、照明、检查方法、以及基板的制造方法。本技术涉及的检查装置具备以10度以下的照射角度向检查对象物的检查面照射含有蓝色或紫色波长范围的成分的光的照明。

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