紫外/热压固化型纳米压印方法与压印机

发明专利无效专利

申请号：
CN200810235047.0
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2008-11-07
申请人：
南京大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	紫外/热压固化型纳米压印方法与压印机
申请号	CN200810235047.0	申请日期	2008-11-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-04-08	公开/公告号	CN101403855
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	南京大学	申请人地址	江苏省南京市汉口路22号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京大学	当前权利人	南京大学
发明人	袁长胜;葛海雄;韩民;丁怀平;陈延峰
代理机构	南京天翼专利代理有限责任公司	代理人	汤志武;王鹏翔

摘要

紫外/热压固化型纳米压印方法，压印过程在真空环境下进行，压印驱动力为可控平稳的高压气体并结合正负压调节匹配的方法，承载基片与压印模板的压印平台在与压印基准面接触压印时，通过自动找平机构实现压印过程。而且将紫外光曝光固化与加热快速冷却固化两种手段集成为一体，即压印基准面采用透紫外光的石英平板，压印平台集真空吸片、温控加热电炉与快速水冷装置等为一体。本发明得到的纳米压印设备结构合理简单，操作简便，性能可靠稳定，制备过程高效低廉，自动化程度高。

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