产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN200480026283.1
IPC分类号：H05G2/00
申请日期：
2004-09-01
申请人：
皇家飞利浦电子股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会

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专利名称	产生极紫外辐射或软X射线辐射的方法和设备
申请号	CN200480026283.1	申请日期	2004-09-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-18	公开/公告号	CN1849850
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05G2/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05G X射线技术（用于放射诊断的仪器入A61B 6/00；X射线治疗入A61N；用X射线测试的入G01N；X射线照相设备入G03B；滤波器、转换屏、显微镜入G21K；X射线管入H01J 35/00；具有X射线输入的电视系统入H04N 5/321） H05G2/00 没有X射线管的、专用于产生X射线的设备或方法，如有等离子产生（X射线激光器入H01S 4/00；一般等离子体技术入H05H）〔5〕	IPC分类号	H;0;5;G;2;/;0;0查看分类表>
申请人	皇家飞利浦电子股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会	申请人地址	荷兰艾恩德霍芬变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	皇家飞利浦电子股份有限公司,弗劳恩霍弗实用研究促进协会	当前权利人	皇家飞利浦电子股份有限公司,弗劳恩霍弗实用研究促进协会
发明人	J·约恩克尔斯;D·M·沃德雷范格;W·内夫
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	张雪梅;梁永

摘要

一种通过电气操纵放电而产生极紫外辐射(EUV)或软X射线辐射的方法，其尤其用于EUV光刻或度量，其中在放电空间(12)内的至少两个电极(14、16)之间的气体介质内点燃等离子体(22)，所述等离子体发射待产生的所述辐射。从金属熔融物质(24)产生该气体介质，该金属熔融物质被涂敷到所述放电空间(12)内的表面，且该金属熔融物质至少部分地被能量束、特别是激光束(20)蒸发。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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