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一种多自由度高稳定性光刻掩膜版基版抛光翻转臂

发明专利有效专利

申请号：
CN202211096976.4
IPC分类号：B24B41/047;B24B41/00;B24B55/00
申请日期：
2022-09-08
申请人：
成都中科卓尔智能科技集团有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种多自由度高稳定性光刻掩膜版基版抛光翻转臂
申请号	CN202211096976.4	申请日期	2022-09-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2022-10-18	公开/公告号	CN115194649A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B41/047 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B41/00 磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的 B24B41/04 床头箱；工作主轴；其有关特征 B24B41/047 用于加工平面的磨头〔4〕	IPC分类号	B;2;4;B;4;1;/;0;4;7;;;B;2;4;B;4;1;/;0;0;;;B;2;4;B;5;5;/;0;0查看分类表>
申请人	成都中科卓尔智能科技集团有限公司	申请人地址	四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都高新区天府五街200号3号楼B区8楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都中科卓尔智能科技集团有限公司	当前权利人	成都中科卓尔智能科技集团有限公司
发明人	杨伟;伍玮;蒋为波
代理机构	北京市领专知识产权代理有限公司	代理人	卢洋

摘要

本发明公开了一种多自由度高稳定性光刻掩膜版基版抛光翻转臂，涉及光刻掩膜版加工技术领域。本发明包括旋转座和臂杆，所述臂杆一端与旋转座铰接，所述臂杆上固定有上磨盘。所述臂杆可以相对于铰接处上下翻转，在臂杆上下翻转时，也会带动所述上磨盘上下移动。本发明在对光刻掩膜版进行打磨时，增加了打磨盘的稳定性，降低了打磨盘的振动幅度，从而提高了光刻掩膜版的加工精度。

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