一种太阳能硅片检测系统及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201310245813.2
IPC分类号：G01N21/88;G01N21/64
申请日期：
2013-06-19
申请人：
苏州矽微电子科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种太阳能硅片检测系统及方法
申请号	CN201310245813.2	申请日期	2013-06-19
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-12-24	公开/公告号	CN104237243A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;6;4查看分类表>
申请人	苏州矽微电子科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区唯新路81号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州矽微电子科技有限公司	当前权利人	苏州矽微电子科技有限公司
发明人	钟小龙;贾淳
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种太阳能硅片检测系统，包括依次连接的上料单元、PL模组、CCD外观检测单元、分选机构和下料单元，所述上料单元包括两个机械臂及设置在机械臂端部的真空吸盘，CCD外观检测单元包括传送带及设置在传送带上的线阵CCD，所述分选机构包括传送带及设置在传送带上的左、右分料装置。其检测稳定，数据传输速度较快。并且能快速自动将硅片分拣。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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