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加热装置及化学气相沉积系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911075445.5
  • IPC分类号:C23C16/46;C23C16/458
  • 申请日期:
    2019-11-06
  • 申请人:
    錼创显示科技股份有限公司
著录项信息
专利名称加热装置及化学气相沉积系统
申请号CN201911075445.5申请日期2019-11-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-01-07公开/公告号CN110656319A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/46IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人錼创显示科技股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学园区苗栗县竹南镇科中路13号8楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人錼创显示科技股份有限公司当前权利人錼创显示科技股份有限公司
发明人吴俊德;赖彦霖;陈佶亨
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人罗英;臧建明
摘要
本发明提供一种包括承载台、多个载盘、多个第一加热器以及至少一第二加热器的加热装置被提出。承载台具有公转轴。多个载盘设置于承载台上。承载台带动这些载盘以公转轴为中心而公转。多个第一加热器设置于承载台下,并定义出第一加热区。任两相邻的第一加热器之间具有第一间距。这些第一加热器在公转轴的径向上分别具有第一宽度至少一第二加热器设置于承载台下,并定义出第二加热区。第二加热器在公转轴的径向上具有第二宽度,且第一宽度等于第二宽度。第二加热区与第一加热区之间具有最小间距,且最小间距不等于第一间距。一种采用加热装置的化学气相沉积系统也被提出。

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