用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备

发明专利有效专利

申请号：
CN02818032.1
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2002-07-12
申请人：
鲁道夫科技公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备
申请号	CN02818032.1	申请日期	2002-07-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2004-12-15	公开/公告号	CN1555479
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	鲁道夫科技公司	申请人地址	美国新泽西州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鲁道夫科技公司	当前权利人	鲁道夫科技公司
发明人	C·莫拉斯;R·J·斯托纳
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	张雪梅;张志醒

摘要

一种用于提高测量薄膜叠层中各层厚度时的信噪比的设备，使用一种光声测量系统(75)，该系统包括时间差分系统(130)用于诱发泵浦光束脉冲(125A)中的延迟。其中，该时间差分系统(130)使用双折射元件和其它元件来控制泵浦光束脉冲(125A)的偏振。该设备的使用涉及向电光调制器驱动器施加随时间变化的电压并设置时间差分步长；或者，在另一个实施例中，向电光调制器施加随时间变化的电压以诱发垂直偏振的脉冲和水平偏振的脉冲之间的固定延迟Δt。该系统的高频操作提供了对膜的厚度的改进的确定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供