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一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的对位装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911124492.4
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/68
  • 申请日期:
    2019-11-18
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的对位装置
申请号CN201911124492.4申请日期2019-11-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-05-08公开/公告号CN111128798A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市大学城外环西路100号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人苏丽云;杨志军;陈新;黄瑞锐
代理机构广东广信君达律师事务所代理人暂无
摘要
本发明涉及一种薄膜拉伸横向对位机构及应用其的等间距芯片阵列巨量转移的对位装置。所述薄膜拉伸横向对位机构包括中间连接板、压膜装置和薄膜拉伸驱动组件;所述压膜装置包括活动端压膜装置和固定端压膜装置;两个所述压膜装置结构相同,所述压膜装置包括压膜定块、压膜动块、压膜动块动力装置、压膜动块直线导轨模组;压膜动块直线导轨模组被固定在压膜定块上;所述压膜动块动力装置驱动所述压膜动块在所述压膜动块直线导轨模组上滑动;固定端压膜装置的压膜定块被固定在中间连接板上;活动端压膜装置的压膜定块在薄膜拉伸驱动组件的驱动下沿压膜装置活动端直线导轨模组的长度方向移动。

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