四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220351143.3
IPC分类号：G01C19/5747
申请日期：
2012-07-19
申请人：
水木智芯科技（北京）有限公司

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专利名称	四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪
申请号	CN201220351143.3	申请日期	2012-07-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5747 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5719 使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件〔2012.01〕 G01C19/5733 结构细节或拓扑〔2012.01〕 G01C19/574 反相运动中具有两个传感部件的装置〔2012.01〕 G01C19/5747 每个传感部件与一个驱动部件相连，例如驱动框架〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;7;4;7查看分类表>
申请人	水木智芯科技（北京）有限公司	申请人地址	北京市海淀区中关村东路1号院8号楼B501C 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	水木智芯科技（北京）有限公司	当前权利人	水木智芯科技（北京）有限公司
发明人	孙博华;王琳;邵长治;孙明;周源;高振宁;郭伟恒;覃昭君;田晓丹
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	汤东凤

摘要

本实用新型公开了一种四质量块全解耦电容式单轴微机械陀螺仪，包括衬底、四个质量块、驱动结构、检测结构和弹性连接结构；驱动结构包括驱动框架，驱动梳齿电极组和驱动反馈梳齿电极组，驱动梳齿电极组包括四组第一驱动齿和八组第二驱动齿，驱动反馈梳齿电极组分为四组，分别位于驱动框架的上下左右之外；四个质量块悬浮在衬底之上，分别位于驱动反馈梳齿电极组的外侧并对称分布；检测结构包括四组检测框架和四组检测梳齿电极组，四组检测框架浮在衬底之上也呈正方形排列，上述各个结构之间通过所述弹性连接结构连接。本实用新型的驱动框架和检测框架由相互独立的弹性梁约束，其运动只与质量块关联，它们之间的运动是相互独立的，实现了全解耦。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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