膜厚仪

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专利名称	膜厚仪
申请号	CN201210152283.2	申请日期	2012-05-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-12-04	公开/公告号	CN103424078A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	无锡华润上华科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡华润上华科技有限公司	当前权利人	无锡华润上华科技有限公司
发明人	惠俊杰
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	邓云鹏

摘要

一种用于测量晶圆上薄膜厚度的膜厚仪，该膜厚仪的光束调整箱与晶圆承载台一侧设有气流产生器，该气流产生器能够在光束调整箱与晶圆承载台之间产生气流，从而将晶圆挥发的气体吹走，避免或者减少晶圆挥发的气体进入光束调整箱，光束调整箱内的镜片不易受到污染，因此该膜厚仪的测量结果不易受到影响，测量精度较高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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