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形成模板的衬底以及检测方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210088083.5
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2012-02-10
申请人：
信越化学工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	形成模板的衬底以及检测方法
申请号	CN201210088083.5	申请日期	2012-02-10
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-08-15	公开/公告号	CN102636953A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	信越化学工业株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越化学工业株式会社	当前权利人	信越化学工业株式会社
发明人	原田大实;竹内正树
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李跃龙

摘要

本发明提供了形成模板的衬底以及检测方法。特别地，本发明提供了具有125-300mm直径的圆形的形成模板的衬底，其具有要在其上形成拓扑图案的表面，其中在直径为125mm的圆内衬底的厚度变化为至多2μm。

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