MEMS光开关及其制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00818369.4
IPC分类号：--
申请日期：
2000-11-14
申请人：
康宁股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	MEMS光开关及其制造方法
申请号	CN00818369.4	申请日期	2000-11-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2003-06-11	公开/公告号	CN1423755
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	康宁股份有限公司	申请人地址	美国纽约州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	康宁股份有限公司	当前权利人	康宁股份有限公司
发明人	J·G·库亚德
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	李家麟

摘要

在平面光路基片(30)上的光开关(20)包括悬臂(40),其具有可选择性延伸至基片的波导斜槽(12)中的控制元件,可用于切换波导(24)所传输的光信号。臂(40)可以由热和压电驱动器来驱动,用于在允许信号继续沿波导传输的静止位置和采用在斜槽(12)中的控制元件(32)来堵塞或改变信号方向的第二位置之间偏转。第二臂可具有侧向移动并可根据悬臂的驱动以覆盖和锁定在第二位置上的悬臂(40),从而使得开关能在没有控制信号进一步作用下维持在驱动状态。MEMS开关阵列由单晶片采用腐蚀方法制成且与波导阵列键合在一起,以提供多个开关模块。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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