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研磨装置及研磨方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980120615.5
  • IPC分类号:B24B29/06;B24B41/06
  • 申请日期:
    2009-04-02
  • 申请人:
    株式会社石井表记
著录项信息
专利名称研磨装置及研磨方法
申请号CN200980120615.5申请日期2009-04-02
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-05-04公开/公告号CN102046330A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B29/06IPC分类号B;2;4;B;2;9;/;0;6;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6查看分类表>
申请人株式会社石井表记申请人地址
日本国广岛县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社石井表记当前权利人株式会社石井表记
发明人坂本裕二;山本晋宏;增成诚治
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人李贵亮
摘要
本发明提供一种研磨装置及研磨方法。所述研磨装置中,在由输送具有挠性的板状工件(P)的多个输送辊(6、9)形成的输送路径(3A、3B、3C)的中途,对置配置夹持板状工件(P)的一对夹持辊(12、13),利用所述夹持辊(12、13)将板状工件(P)沿上下方向传送,并且在对置配置的一对抛光辊(14、15)之间利用所述抛光辊(14、15)同时研磨传送来的该板状工件(P)的两面。

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