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一种直拉硅单晶炉

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202122568150.0
  • IPC分类号:C30B15/00;C30B29/06;C30B15/02;C30B15/20
  • 申请日期:
    2021-10-25
  • 申请人:
    张利超
著录项信息
专利名称一种直拉硅单晶炉
申请号CN202122568150.0申请日期2021-10-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C30B15/00IPC分类号C;3;0;B;1;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;5;/;0;2;;;C;3;0;B;1;5;/;2;0查看分类表>
申请人张利超申请人地址
山东省潍坊市诸城市兴华东路33号1号楼2单元301号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人张利超当前权利人张利超
发明人张利超
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及单晶炉技术领域,且公开了一种直拉硅单晶炉,包括底座和连通管,所述底座的顶部固定有炉箱,所述炉箱的内部设置有坩埚,所述坩埚的下侧设置有升降电机,所述升降电机的一侧设置有保温套,所述坩埚的内壁开设有凹槽,所述凹槽的内壁固定有透明壳和液位传感器,所述炉箱上开设有炉箱凹槽,所述炉箱凹槽的内壁固定有多个等距离排列的制冷片,所述炉箱的一侧固定有第一支撑板。该直拉硅单晶炉,通过在底座上设置的炉箱,炉箱上设置的第一支撑板、控制面板和水箱,水箱上设置的出水管,炉箱上开设的炉箱凹槽,炉箱凹槽内部设置的制冷片,达到了对炉箱降温的效果。

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