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0901用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器；
0910用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器、用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
0911用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
0913用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器、用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
0901用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器；
0910用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器、用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
0911用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
0913用于调节、控制和监督表面和表面处理的电子装置和仪器、用于测量薄膜加工装置中薄膜去除的光学、电气、磁性、光谱传感器和测量装置；
3706各类真空生产设备和真空装置的工业组装、安装、调试和维护工作；
3706各类真空生产设备和真空装置的工业组装、安装、调试和维护工作；
0729用于通过阴极溅射、蒸发、化学气相沉积和快速热退火方法制造半导体的机械模块、；
0744用于通过阴极溅射、蒸发、化学气相沉积和快速热退火方法制造半导体的机械模块、；
0729用于通过阴极溅射、蒸发、化学气相沉积和快速热退火方法制造半导体的机械模块、；
0744用于通过阴极溅射、蒸发、化学气相沉积和快速热退火方法制造半导体的机械模块、；
0742真空加工机器和机床；
0744真空加工机器和机床、用于在真空装置中对基材、仪器和其他待涂覆部件进行化学和物理清洁、结构化或去除涂层以及机械处理的机器、真空镀膜装置或真空酸洗装置、用于真空制造半导体基板和薄膜的机器、通过等离子体辅助对零件进行涂层、处理和酸洗的真空处理装置；
0752用于在真空装置中对基材、仪器和其他待涂覆部件进行化学和物理清洁、结构化或去除涂层以及机械处理的机器；
0742真空加工机器和机床；
0744真空加工机器和机床、用于在真空装置中对基材、仪器和其他待涂覆部件进行化学和物理清洁、结构化或去除涂层以及机械处理的机器、真空镀膜装置或真空酸洗装置、用于真空制造半导体基板和薄膜的机器、通过等离子体辅助对零件进行涂层、处理和酸洗的真空处理装置；
0752用于在真空装置中对基材、仪器和其他待涂覆部件进行化学和物理清洁、结构化或去除涂层以及机械处理的机器；
4101为涂层、酸洗、等离子处理和热处理工艺的真空装置领域的工程师和技术人员、客户提供培训；
4102为涂层、酸洗、等离子处理和热处理工艺的真空装置领域的工程师和技术人员、客户提供培训；
4101为涂层、酸洗、等离子处理和热处理工艺的真空装置领域的工程师和技术人员、客户提供培训；
4102为涂层、酸洗、等离子处理和热处理工艺的真空装置领域的工程师和技术人员、客户提供培训；
1201陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1202陆、空、水或铁路用机动运载工具、陆地车辆引擎、陆地车辆连接器、陆地车辆传动齿轮、陆地车辆传动轴、陆地车辆变速箱、陆地车辆用外部热源热引擎、陆地车辆液压回路；
1204陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1205陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1206陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1207陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1209陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1210陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1201陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1202陆、空、水或铁路用机动运载工具、陆地车辆引擎、陆地车辆连接器、陆地车辆传动齿轮、陆地车辆传动轴、陆地车辆变速箱、陆地车辆用外部热源热引擎、陆地车辆液压回路；
1204陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1205陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1206陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1207陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1209陆、空、水或铁路用机动运载工具；
1210陆、空、水或铁路用机动运载工具；
0748发动机用控制装置、马达和引擎用防污染装置、引擎活塞、非陆地车辆用马达、航空引擎、马达和引擎用汽缸、马达和引擎用节油器；
0749增压机、机器、马达和引擎的气压控制器、涡轮压缩机；
0750调节器（机器部件）、发动机用热交换器、机器用齿轮装置；
0748发动机用控制装置、马达和引擎用防污染装置、引擎活塞、非陆地车辆用马达、航空引擎、马达和引擎用汽缸、马达和引擎用节油器；
0749增压机、机器、马达和引擎的气压控制器、涡轮压缩机；
0750调节器（机器部件）、发动机用热交换器、机器用齿轮装置；
4209热力发动机和热回收领域技术项目研究、与汽车工业有关的技术项目研究、发动机领域科学和技术服务以及相关研究和设计服务、有关发动机领域科学和技术创新、项目研究和开发的信息和咨询服务、有关运载装置用电子设备和装置的设计、工程服务、质量控制、向他人提供新产品的研究和开发服务；
4214材料试验；
4216发动机领域科学和技术服务以及相关研究和设计服务、有关运载装置用电子设备和装置的设计、工业品外观设计；
4220有关发动机领域计算机数据处理程序的设计（编制）、有关机动车辆和热力发动机用计算机系统的设计；
4209热力发动机和热回收领域技术项目研究、与汽车工业有关的技术项目研究、发动机领域科学和技术服务以及相关研究和设计服务、有关发动机领域科学和技术创新、项目研究和开发的信息和咨询服务、有关运载装置用电子设备和装置的设计、工程服务、质量控制、向他人提供新产品的研究和开发服务；
4214材料试验；
4216发动机领域科学和技术服务以及相关研究和设计服务、有关运载装置用电子设备和装置的设计、工业品外观设计；
4220有关发动机领域计算机数据处理程序的设计（编制）、有关机动车辆和热力发动机用计算机系统的设计；
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