一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310621202.3
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/14
申请日期：
2013-11-29
申请人：
上海微电子装备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置及方法
申请号	CN201310621202.3	申请日期	2013-11-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-06-03	公开/公告号	CN104677270A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;1;4查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	梁任成;曹昌智
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅

摘要

本发明公开一种基于布拉格光栅的硅片对准补偿装置，其特征在于，包括：宽带光源，用于提供宽光谱探测光束；硅片对准系统，用于根据该对准光束，建立该硅片与掩模之间的坐标系对应关系；光纤，该光纤上包括布拉格光栅，该光纤的入射端用于接收该宽光谱探测光束；光谱仪，位于该光纤的另一端，用于探测经该布拉格光栅滤波后的宽光谱探测光束；该硅片对准补偿装置根据该光谱仪的探测数据，补偿该硅片对准系统的测量位置误差。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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