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CMOS图像传感器及其形成方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710142738.5
  • IPC分类号:H01L27/146
  • 申请日期:
    2017-03-10
  • 申请人:
    豪威科技(上海)有限公司
著录项信息
专利名称CMOS图像传感器及其形成方法
申请号CN201710142738.5申请日期2017-03-10
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-07-07公开/公告号CN106935605A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6查看分类表>
申请人豪威科技(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园上科路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人豪威科技(上海)有限公司当前权利人豪威科技(上海)有限公司
发明人叶通迪;王从建;翁鸿铭;余兴
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人智云
摘要
本发明提供了一种CMOS图像传感器及其形成方法,其中,第一高K介质层包括多层第一高K介质子层,相邻两层第一高K介质子层之间界面不连续,由此能够提高耦合效应及抑制晶粒成长,很好的将半导体衬底中的游离负电荷固定于第一氧化层和第一高K介质层之间的界面,将半导体衬底中的游离正电荷固定于半导体衬底和第一氧化层之间的界面,从而很好的降低漏电流,进一步改善/避免亮点问题。

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