一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200510123888.9
IPC分类号：H05B33/10;H05B33/26;H01L51/50
申请日期：
2005-11-24
申请人：
中国科学院微电子研究所

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著录项信息

专利名称	一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法
申请号	CN200510123888.9	申请日期	2005-11-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-05-30	公开/公告号	CN1972545
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B33/10 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B33/00 电致发光光源〔1，8〕 H05B33/10 专门适用于制造电致发光光源的设备或方法	IPC分类号	H;0;5;B;3;3;/;1;0;;;H;0;5;B;3;3;/;2;6;;;H;0;1;L;5;1;/;5;0查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	欧毅;李大勇
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	段成云

摘要

一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1、在硅基片表面上光刻出金属阳极图形；2、在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铬/银薄膜；3、超声剥离；4、反转光刻阴极隔离柱图形，完成制作。OLED具有可实现柔软显示、色彩鲜艳、响应速度快、抗低温及工艺简单等优点，可广泛应用于视频显示领域。本发明方法具有成本低和工艺简单的优点。

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