一种Z轴电容式微机械加速度计

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420151300.5
IPC分类号：G01P15/125
申请日期：
2014-04-01
申请人：
南京信息工程大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种Z轴电容式微机械加速度计
申请号	CN201420151300.5	申请日期	2014-04-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/125 应用电容变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人	南京信息工程大学	申请人地址	江苏省南京市浦口区宁六路219号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京信息工程大学	当前权利人	南京信息工程大学
发明人	刘恒;于步云;孟瑞丽;许辰;王冕
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	朱小兵

摘要

本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层，所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿，其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时，所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构，且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好，能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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