硅锗氢化物以及制造和使用其的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200680043728.6
IPC分类号：C01B6/06;H01L21/205;C07F7/02
申请日期：
2006-11-21
申请人：
亚利桑那董事会，代表亚利桑那州立大学行事的法人团体

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅锗氢化物以及制造和使用其的方法
申请号	CN200680043728.6	申请日期	2006-11-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-02-11	公开/公告号	CN101365648
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B6/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B6/00 金属氢化物；甲硼烷或乙硼烷；其加成配合物〔2〕 C01B6/06 铝、镓、铟、铊、锗、锡、铅、砷、锑、铋或钋的氢化物；甲硼烷；乙硼烷；其加成配合物	IPC分类号	C;0;1;B;6;/;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;5;;;C;0;7;F;7;/;0;2查看分类表>
申请人	亚利桑那董事会，代表亚利桑那州立大学行事的法人团体	申请人地址	美国亚利桑那变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚利桑那董事会，代表亚利桑那州立大学行事的法人团体	当前权利人	亚利桑那董事会，代表亚利桑那州立大学行事的法人团体
发明人	J·库韦塔基斯;C·J·里特三世;C·胡;I·S·T·宗;A·奇日梅什亚
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李帆

摘要

本发明提供了新型的硅锗氢化物化合物，它们的合成方法，它们的沉积方法和使用所述新型化合物制成的半导体结构。该化合物由下式限定：(SiHn1)x(GeHn2)y，其中x是2、3或4；其中y是1、2或3；其中x+y为3、4或5；其中对于该化合物中的每个原子，n1独立地为0、1、2或3，以便满足化合价；并且其中对于该化合物中的每个Ge原子，n2独立地为0、1、2或3，以便满足化合价；条件是当y为1时n2不为0；另外的条件是当x为3且y为1时，n2为2或3；且另外的条件是当x为2且y为1时，n2为3。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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