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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

晶圆传送盒及其闩锁件结构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201920524630.7
  • IPC分类号:H01L21/677
  • 申请日期:
    2019-04-17
  • 申请人:
    中勤实业股份有限公司
著录项信息
专利名称晶圆传送盒及其闩锁件结构
申请号CN201920524630.7申请日期2019-04-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人中勤实业股份有限公司申请人地址
中国台湾桃园市龟山区顶湖一街16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中勤实业股份有限公司当前权利人中勤实业股份有限公司
发明人黄世钦;陈仁富
代理机构北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)代理人郑玉洁
摘要
本实用新型是一种晶圆传送盒及其闩锁件结构,晶圆传送盒包括容置部以及封口部。容置部内形成一个容置空间,外部形成有出入口;封口部包括内板体、外板体、围绕壁及闩锁机构。闩锁机构包括:转盘,一个面上设有两个斜推块;及两个闩锁件分别与转盘连动。各闩锁件包括:抵推部,设有活动接触件在转盘转动时沿对应的斜推块的斜面滚动;及卡压部,当转盘带动闩锁件时在闭锁位置及释锁位置间移动。借由本实用新型的实施,使闩锁件可利用活动接触件沿转盘上斜推块的滚动而移动更为顺畅,并可减少磨损与粉尘,降低晶圆传送盒内部的污染,提高晶圆制造生产品质及合格率。

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