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一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811523705.6
  • IPC分类号:B08B13/00;F26B25/00;G03F1/82
  • 申请日期:
    2018-12-13
  • 申请人:
    湖北浚山光电有限公司
著录项信息
专利名称一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽
申请号CN201811523705.6申请日期2018-12-13
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2020-06-23公开/公告号CN111318538A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B13/00IPC分类号B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;2;5;/;0;0;;;G;0;3;F;1;/;8;2查看分类表>
申请人湖北浚山光电有限公司申请人地址
湖北省黄石市西塞山区河西大道66号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湖北浚山光电有限公司当前权利人湖北浚山光电有限公司
发明人唐军
代理机构黄石市三益专利商标事务所代理人饶卓识
摘要
本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域,具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的脱水槽,包括一个上端开口的矩形槽体,其特征是:槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管,抽风管下端装有引风机,抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管,引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸,引风管上设有若干个风孔;抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管,其中一根位于脱水槽上端,另一根位于脱水槽下端;本发明脱水时可同时抽出清洗槽的气体,适用于对现有脱水槽的改进。

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