晶圆键合设备及晶圆键合设备运行状态的检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010225464.8
IPC分类号：--
申请日期：
2020-03-26
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	晶圆键合设备及晶圆键合设备运行状态的检测方法
申请号	CN202010225464.8	申请日期	2020-03-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-03	公开/公告号	CN111370353A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	陈涛
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	梁文惠

摘要

本发明提供了一种晶圆键合设备及晶圆键合设备运行状态的检测方法。其中，晶圆键合设备包括：第一晶圆卡盘和第二晶圆卡盘，第一晶圆卡盘位于第二晶圆卡盘的上方，第一晶圆卡盘用于保持第一晶圆，第二晶圆卡盘用于保持第二晶圆；顶推装置，以用于推动第一晶圆卡盘带动第一晶圆朝向第二晶圆运动，直至第一晶圆与第二晶圆相贴合；检测结构，检测结构包括检测部，当检测结构处于检测状态时，检测部检测顶推装置的顶推方向是否与第一晶圆相互垂直设置。本发明解决了现有技术中晶圆键合质量难以保证的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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