一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820507564.8
IPC分类号：B05D3/06
申请日期：
2018-04-11
申请人：
武汉驿路通科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置
申请号	CN201820507564.8	申请日期	2018-04-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05D3/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05D 对表面涂布液体或其他流体的一般工艺（输送通过液浴的节或工件入B65G，如B65G 49/02）〔2〕 B05D3/00 涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理〔2〕 B05D3/06 使受辐射（B05D 3/02优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;5;D;3;/;0;6查看分类表>
申请人	武汉驿路通科技股份有限公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区佛祖岭一路7号驿路通科技园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	武汉驿路通科技股份有限公司	当前权利人	武汉驿路通科技股份有限公司
发明人	余创;刘丹
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司	代理人	徐杨松

摘要

本实用新型涉及一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，包括工作台，工作台上开设有通孔，通孔的直径大于待照胶晶圆的直径，通孔上盖设有用于放置待照胶晶圆的透光板；工作台下方设置有UV面光源，且UV面光源的照射区域包括通孔；还包括用于放置在待照胶晶圆上的压块。先将待照胶晶圆放置在通孔上方的透光板上，且待照胶晶圆的玻璃片在晶圆的下方，再用压块从待照胶晶圆的上方压紧待照胶晶圆，最后打开UV面光源，从工作台下方照射待照胶晶圆；由于UV面光源的光线从通孔透过透光板，直接照射到待照胶晶圆的玻璃片一侧，不存在压块等任何挡光物件，仅需一次照胶，提高照胶效率，且照射时间一致，固化度一致，有效提高可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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