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用于生产半导体装置和平板显示器的设备

发明专利无效专利

申请号：
CN01124802.5
IPC分类号：--
申请日期：
2001-06-29
申请人：
株式会社D.M.S

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于生产半导体装置和平板显示器的设备
申请号	CN01124802.5	申请日期	2001-06-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2002-04-03	公开/公告号	CN1342998
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社D.M.S	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社D.M.S	当前权利人	株式会社D.M.S
发明人	韩占烈
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	肖鹂

摘要

根据本发明,生产半导体装置和平板显示设备的设备结合/连接具有处理功能的模块,用于在相同类型的实体分布设备中形成半导体装置和平板显示器,处理功能如清洁－沉积－扩散－离子掺杂－再耦合－抛光－光刻－蚀刻－除灰－剥离－检查－退火,由此防止由于实体分布的重复导致生产率损失。

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