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一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510591739.9
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2015-09-16
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法
申请号CN201510591739.9申请日期2015-09-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-02公开/公告号CN105116691A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人刘卫静;廖志杰;邢廷文;林妩媚
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种光刻机工件台探测器最佳高度确定方法,工件台携带光电探测器在特定光强位置处沿光轴方向进行光强度探测器,通过迭代查找光强极小值,对应位置即为探测器最佳高度。该方法通过控制工件台沿光轴方法上采样间隔,使测量精度可以达到微米量级,测量方法简单、快捷,测量精度高。

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