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0401润滑油;
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0910用于薄膜分析的借助分光镜的偏振光椭圆率测量仪、测量或者测试机器和仪器;
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0744半导体晶片的加工设备、集成电路生产机械和设备、其他的半导体生产设备、用于生产半导体设备的其他的真空薄膜成型设备、用于生产半导体设备的等离子化学气相沉积设备、用于生产半导体设备的化学气相沉积设备、用于生产半导体设备的阴极真空喷镀设备、用于生产半导体设备的真空汽相淀积设备;
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0910其他的测量或者检测机械及仪器、实验室设备及仪器、质谱分析型的氦泄漏探测器;
0911光学设备及仪器;
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0911光学设备及仪器;
0910分析气体仪器;空气分析仪器;压力量表;压力测量仪器;电磁测量探测器;电表;
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