加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体器件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910908571.8
  • IPC分类号:H01L21/8238
  • 申请日期:
    2019-09-25
  • 申请人:
    上海华力集成电路制造有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件的制造方法
申请号CN201910908571.8申请日期2019-09-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-12-10公开/公告号CN110556341A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8查看分类表>
申请人上海华力集成电路制造有限公司申请人地址
上海市浦东新区良腾路6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海华力集成电路制造有限公司当前权利人上海华力集成电路制造有限公司
发明人何志斌
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司代理人戴广志
摘要
本申请公开了一种半导体器件的制造方法,包括:在核心器件的NMOS区域覆盖光刻胶,通过刻蚀去除IO器件的源漏区域以及核心器件的PMOS区域的源漏区域的硬掩模层;对IO器件的源漏区域的第一栅氧化层,以及PMOS区域的源漏区域进行刻蚀,在PMOS区域的源漏区域形成U形沟槽;去除NMOS区域的光刻胶,对PMOS区域的源漏区域进行刻蚀,在PMOS区域的源漏区域形成∑形沟槽;通过外延工艺在∑形沟槽中生长硅锗层;通过湿法刻蚀工艺先后去除硬掩模层以及IO器件的源漏区域的第一栅氧化层。本申请由于不需要通过额外的光刻工艺去除源漏区域的第一栅氧化层,从而降低了工艺复杂性,进而降低了工艺成本。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供