表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510052539.2
IPC分类号：G01B11/24;G01N21/956;H05K3/34
申请日期：
2005-02-28
申请人：
欧姆龙株式会社

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著录项信息

专利名称	表面状态检查方法、表面状态检查装置和基板检查装置
申请号	CN200510052539.2	申请日期	2005-02-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-31	公开/公告号	CN1661323
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;H;0;5;K;3;/;3;4查看分类表>
申请人	欧姆龙株式会社	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	欧姆龙株式会社	当前权利人	欧姆龙株式会社
发明人	栗山淳;石羽正人;村上清;四谷辉久
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	马莹;邵亚丽

摘要

提供一种表面状态检查方法以及使用该方法的表面状态检查装置和基板检查装置，在检查倾斜面的状态时，即使图像的亮度和色相变动，也可执行信赖度高的检查。在将红、绿、蓝的各色彩光从相互不同的仰角方向照射的状态下进行摄像，在使用获得的图像来检查焊料的圆角时，将R、G、B各色调的三维数据变换成一维的色相数据，利用该色相数据，按照红、绿、蓝的顺序来提取色相变化的方向。提取的方向表示圆角的斜率变化的方向，通过将该方向与预先登记的基准方向进行比较，判别圆角的倾斜面是否合适。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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